SK-60B/80Bは、使いやすさとスループットを重視したニュースピンナ。よりスリムになったボディーに、優れた機能を満載して誕生しました。まず、ウェーハの搬送スピードをアップして生産性が大幅に向上。プロセス性能とクリーン度もグレードアップし、高い歩留りを維持します。また、操作とメンテナンスを考慮して、各種の専用パネルと新ソフトを付加するとともに、自動化と部品の削減および共通化を推進。さらにシステム構成もフレキシブルなうえ、限られた装置内スペースに必要な処理ユニットをムダなく搭載できる設計となっています。 1. 高速インデクサの搭載に加え、ウェーハ搬送ユニットのスピードを大幅にアップ。スループットが向上しました。また、異なるフローのウェーハを効率良く連続処理するフレックスフロー機能も備えています。 2. パーティクルフリーのカセット静止型インデクサ、クリーンな搬送系、カップ自動洗浄機能、スピンコータのスーパー整流板、およびシールテープレス・メタルフリー配管により、優れたトータルクリーン度を実現しました。 3. D-SPIN 60Aで実績のある4段オーブンを搭載。装置サイズが従来より約20％縮小（当社比）しました。また、このオーブンスペースにエッジ露光ユニットや薬液温調ユニットを搭載することも可能。限られたスペースが有効に利用できます。 4. 数々の新機構が付加され、プロセス性能が向上。処理精度がアップしました。 5. キーオペレーションの簡素化、装置の保守や薬液系専用のパネルの搭載、使用部品の削減と共通化などにより、操作性とメンテナンス性が大幅に向上しました。 6. 目的に合わせて自由にシステムが構成できます。また周辺機器として、フォトリソプロセスの管理を合理化するインラインコントローラシステム ALPHA も提供。ラインのFA化が推進できます。