RF3Tは、RF3シリーズの最上位モデルとして、プロセスユニット搭載数の拡張、搬送システムの高速化などプラットホーム性能を極限まで高め、世界最高レベルの200WPHスループットを実現するコータ・デベロッパです。RF3シリーズの高い性能を継承しつつ、更なる微細化対応とともに、薬液消費量削減システムによる大幅なCoO改善も図っています。 搬送ユニットの高速化、8デベロッパ対応などプロセスユニット搭載数拡張、搬送ステップ数削減、ベーク温度変更時間短縮を図り、200WPHの高スループット処理を実現します。 レジスト消費量を削減する新しいシステムを採用し、これまで以上にCoOを改善させています。 独自な洗浄、乾燥ツールを搭載し、液浸特有の欠陥削減に効果を発揮します。