RF3Tは、RF3シリーズの最上位モデルとして、プロセスユニット搭載数の拡張、搬送システムの高速化などプラットホーム性能を極限まで高め、世界最高レベルの200WPHスループットを実現するコータ・デベロッパです。 RF3Sは、高い信頼性で定評のあるRF3プラットホームを進化させ、更なる高生産性・高性能化を実現したRF3の高スループット・バージョンアップモデルです。 次世代ノードをターゲットとしたハイエンドコータ・デベロッパ。 高信頼性・安定性を実現するとともに、毎時150枚以上のハイスループット処理を可能にします。 使いやすさとコストパフォーマンスを重視したコータ・デベロッパ。 ハイレベルのプロセス性能と熟成されたテクノロジーにより、高い歩留りを維持します。