Doc. No. PR080227
2008年2月27日
コータ・デベロッパ「RF
3
」シリーズにNova社のCD計測装置「NovaScan」を搭載
株式会社SOKUDO（本社：京都市下京区／社長：末武 隆成）はこのたび、Nova社（本社：イスラエル・レホボット市／社長：Gabi Seligsohn氏）の光学式微細パターン寸法（CD）計測装置を、SOKUDOのコータ・デベロッパ「RF
3
（アール・エフ・キューブ）」シリーズに搭載することを決定、本日発表しました。これにより、半導体量産プロセスにおけるさまざまなソリューションのニーズに、より一層柔軟・高度に対応することが可能になりました。
「RF
3
」シリーズは、「RF
3S
（アール・エフ・キューブ・エス）」や「RF
3T
（アール・エフ・キューブ・ティー）」など、最新鋭のフォトリソグラフィー装置をラインアップしており、半導体製造プロセスに不可欠な高い生産性と信頼性に対し、高度な技術で応えています。また、多彩な顧客ニーズに対応できる柔軟なプラットフォーム構造により、ドライ、液浸の両プロセスに対応。拡張性に富んだデバイスソリューションを、幅広く提供しています。そしてこのたび、アプライド マテリアルズ社のメイダン・テクノロジー・センター（米国・カリフォルニア州サニーベール）において、Nova社の高度な光散乱計測モデリング／アプリケーション開発ツール「NovaMARS」を備えた装置組み込み型計測システム「NovaScan
®
3090Next」を、当社の「RF
3
」に組み込んだ検証を完了。2008年2月に、同システムを搭載した「RF
3S
」の出荷を開始しました。
「NovaScan 3090Next」は、深紫外線（DUV）および赤外線（IR）のスペクトル領域の拡大により、CD計測、形状解析、分光測光・光波散乱計測などを可能にする高度な測定システムで、高スループット、高信頼性、適合性など、「RF
3
」への組み込みにおいて求められる大量測定を実現しています。また「NovaMARS」は、45nmおよびそれ以降の技術ノードに対応する複雑なデバイス構造・アプリケーション開発の自動化を支援するもので、光学CDおよび光波散乱オーバーレイアプリケーションの両方に使用できます。
SOKUDO副社長のMohsen Salekは、「今回、当社システムへの光学計測システム搭載に当たり、優れた光学CD計測およびCDモデリング技術を持つNova社との協力を図りました。SOKUDOの装置に『NovaScan
®
』および『NovaMARS』を搭載することにより、今後、顧客であるデバイスメーカーにさらに最先端の装置ソリューションを提供できます」と述べています。
また、Nova社グローバルビジネス取締役副社長のAvi Magid氏は、「SOKUDOの『RF
3
』は、半導体製造プロセスにおいて多くの特筆すべき技術を採用するなど、業界最高レベルのCD制御、高スループット、信頼性を実現しています。今回、当社の最先端計測機器組み込みソリューションの導入により、SOKUDOの装置技術の向上に寄与できることを喜ばしく思います。今回の協力はリソグラフィープロセスにおいて、デバイス製造装置への計測システム組み込みの拡大に向けた、重要な1歩となります」と語っています。
■
Nova社（Nova Measuring Instruments Ltd.）
半導体プロセス管理業界における世界的リーディングカンパニー。高度な測定技術を生かし、スタンドアローン（単体）および製造装置組み込み型の計測装置を開発・製造・販売している。ナスダック市場とTASE市場に株式を上場。
（
www.nova.co.il
）
■
株式会社SOKUDO
京都に本社を置く、大日本スクリーン製造株式会社と米国・アプライド マテリアルズ社による合弁企業。半導体製造用の高度なコータ・デベロッパの開発・製造・販売・保守を目的として2006年7月3日に設立された。
(
www.sokudo.com
)
お問い合わせ先
株式会社SOKUDO プロダクトマネージメント部
担当：チャールズ ペチュレスキー、長嶋 広路
Tel：075-256-8246
E-mail：
info@sokudospeed.com
PDFはこちら
(185KB)
(185KB)
