Doc. No. PR070710
2007年7月10日
SOKUDO、飛躍的な技術革新を実現するコータ・デベロッパ「RF
3S
」の本格的な出荷を開始
株式会社SOKUDO（本社：京都市下京区／社長：末武 隆成）は、次世代の半導体製造プロセスに対応した新製品「RF
3S
（アール・エフ・キューブ・エス）」の本格的な出荷を開始することを、2007年7月10日に発表しました。
RF
3S
は、高い生産性と、液浸をはじめとする45ナノメートル以降の超微細プロセスに対応する次世代技術への要求を両立するもので、高い信頼性で定評のあるRF
3
のプラットフォーム上に構築され、1時間当たり180枚という優れたスループット性能を実現します。また、フレキシブルな基本設計により、搭載ユニットの増設が可能なため、高生産性への要求に柔軟に対応。大日本スクリーンの洗浄・乾燥技術を駆使し、液浸プロセス固有の欠陥を除去する液浸用モジュールや、現像時間の60％以上の短縮を実現する新現像システムの搭載も可能となっています。さらにRF
3S
は、CD均一性の向上を図る新開発のホットプレートを準備。半導体製造工程で発生するウエハーの反りを調整し、高い精度の加熱処理を実現しています。
そのほかにもRF
3S
は、フォトリソグラフィーやエッチング後のCD均一性の最適化を可能とするバイアス機能搭載のホットプレートも新たにバリエーションに加え、さまざまな用途に応じた高精度処理を可能としているほか、工程管理や稼働率向上を図るアプライド マテリアルズの工程管理ツール「NeXus Real-Time SPC」にも対応しています。
SOKUDOでは、既に受注した複数台の新RF
3S
システムを、今月出荷する予定です。
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株式会社SOKUDO代表取締役社長、末武隆成のコメント
「大日本スクリーン製造とアプライド マテリアルズの技術を取り入れ、世界最高レベルのプロセスと液浸欠陥制御を提供するコータ・デベロッパがRF
3S
です。200セットを超える出荷実績を持つRF
3
プラットフォーム上に構築したRF
3S
には、液浸やドライリソグラフィーなど、あらゆる用途に対応するプロセス性能と高生産性を、お客さまに提供します」
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株式会社SOKUDO
京都に本社を置く、大日本スクリーン製造株式会社と米国・アプライド マテリアルズ社による合弁企業。半導体製造用の高度なコータ・デベロッパの開発・製造・販売・保守を目的として2006年7月3日に設立された。
(
www.sokudospeed.com
)
RF
3S
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(
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)
お問い合わせ先
株式会社SOKUDO プロダクトマネージメント部
担当：チャールズ ペチュレスキー、長嶋 広路
Tel：075-256-8246
E-mail：
info@sokudospeed.com
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